패턴 가공 장치 및 이를 이용한 패턴 가공 방법 (Pattern manufacturing apparatus and pattern manufacturing method using the same)

Authors

이우승, 김혜인, 오동교, 박종갑, 이나영, 옥종걸

Journal

KR patent

Vol

10-2022-0056226

Year

Patents

Link

https://doi.org/10.8080/1020220056226